作道 健一 | 北海道大学大学院工学研究科

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概要

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• 同名の論文著者
• 北海道大学大学院工学研究科の論文著者

関連著者

• 高橋 順一

  北海道大学大学院工学研究科物質工学専攻

• 嶋田 志郎

  北海道大学大学院工学研究科物質工学専攻

• 嶋田 志郎

  北海道大学

• 作道 健一

  北海道大学大学院工学研究科

• 高田 芳和

  北海道大学大学院工学研究科

• 永井 秀明

  産業技術総合研究所微小重力環境利用材料研究ラボ

• 高橋 順一

  北海道大学大学院 工学研究科

• 嶋田 志郎

  北海道大学大学院工学研究科物質化学専攻

• 永井 秀明

  産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門

著作論文

• 溶液噴霧プラズマCVD法によるアルコキシド溶液からの組成傾斜TiN-AINとTiN-SiN_x膜の作製(セラミックスインテグレーション)

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