藤塚 徳夫 | 株式会社 豊田中央研究所
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概要
関連著者
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藤塚 徳夫
株式会社 豊田中央研究所
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坂田 二郎
豊田中研
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水野 健太郎
豊田中央研究所 機能デバイス研究室
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水野 健太朗
株式会社 豊田中央研究所
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宮地 幸夫
豊田中央研究所 パワー高周波デバイス研究室
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多賀 康訓
中部大学総合工学研究所
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大塚 一雄
株式会社豊田中央研究所
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多賀 康訓
豊田中央研究所
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藤塚 徳夫
豊田中央研究所 機能デバイス研究室
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坂田 二郎
豊田中央研究所 機能デバイス研究室
著作論文
- PVDF薄膜を用いたモノリシック焦電型赤外線イメージセンサ
- 2)PVDF薄膜を用いたモノリシック焦電型赤外線イメージ(情報センシング研究会)
- フッ硝酸選択エッチングを用いたスティッキング防止処理
- PVDF薄膜を用いたモノリシック焦電型赤外線イメージセンサ
- PVDF薄膜を用いたモノリシック焦電型赤外線イメージセンサ
- 開構造支持を持つSOI角速度センサ
- 変位拡大機構による半導体マイクロ圧力スイッチ
- PVDF薄膜を用いたモノリシック焦電型赤外線イメ-ジセンサ
- フッ硝酸選択エッチングを用いたスティッキング防止処理
- 表面マイクロマシニング型センサ