竪山 佳邦 | (株)東芝

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概要

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関連著者

• 竪山 佳邦

  (株)東芝

• 西岡 岳

  (株)東芝

• 西岡 岳

  (株)東芝機械・システムラボラトリー

• 福島 大

  (株)東芝

• 宮下 直人

  (株)東芝セミコンダクター社

• 重田 厚

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• 豊田 現

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• 矢野 博之

  (株)東芝

• 瀬田 聡子

  (株)東芝研究開発センター

• 瀬田 聡子

  (株)東芝 研究開発センター 機械・システムラボラトリー

著作論文

• FEOLプロセスにおけるベベル研磨技術の適用と欠陥低減
• SiO2膜の化学的機械研磨におけるトライボロジー
• ULSI製造工程における化学的機械研磨 (特集 トライボロジ-技術)

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