吉原 俊幸 | キヤノン(株)

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概要

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関連著者

• 品野 勇治

  東京農工大学

• 品野 勇治

  東京農工大学院共生科学技術研究部

• 品野 勇治

  東京農工大学 工学部 情報コミュニケーション工学科

• 吉原 俊幸

  キヤノン(株)

• 深川 容三

  キヤノン(株)

• 宮代 隆平

  東京農工大学

• 高野 義巳

  キヤノン株式会社

• 宮代 隆平

  東京農工大学院共生科学技術研究部

• 久保 諭史

  キヤノン株式会社

• 吉原 俊幸

  キヤノン株式会社

• 深川 容三

  キヤノン株式会社

• 高野 義巳

  キヤノン(株)

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著作論文

• 2-D-4 誤差の離散性を考慮したレンズ調整のロバスト最適化(離散・組合せ最適化(6))
• 制約2次計画法および2次錐計画法を用いた半導体露光装置用レンズの最適調整(機械力学,計測,自動制御)
• 半導体露光装置におけるレンズ調整 : 群回し調整の最適化(機械力学,計測,自動制御)

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