日比野 研志 | 東京大学生産技術研究所 第5部

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概要

• 同名の論文著者
• 東京大学生産技術研究所 第5部の論文著者

論文 | ランダム

• 高温動作用ダイヤフラム一体型圧力センサの開発
• 角柱状酸化チタンサブミクロン微粒子の調製
• 光学素子作製用ポリシロキサン型電子線レジストの開発(半導体・エレクトロニクス)
• プラズマスパッタ法により作製したAu-C複合薄膜の電気化学式ガスセンサーへの検討
• Ar, CH_4 混合ガス中での低電圧スパッタにより作製した Au-CH 薄膜 (II)

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