永田 可彦 | 機械技術研究所基礎機械部極限技術課

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概要

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• 機械技術研究所基礎機械部極限技術課の論文著者

機械技術研究所基礎機械部極限技術課 | 論文

• 3G-2 MeV Siイオン注入Siのビーム音響法による評価(超音波顕微鏡)
• 1-B-1 イオンビーム励起音響による、イオン注入層のキャラクタリゼーション(B.音波物性)

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