川井 昌之 | 福井大学 大学院工学研究科
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概要
福井大学 大学院工学研究科 | 論文
- 福井大学 表面設計工学研究室
- ウェットブラスト加工に関する基礎的研究 : 投射固体粒子径の単結晶Siウェハの加工メカニズムへの影響(機械要素,潤滑,設計,生産加工,生産システムなど)
- ウェットブラスト加工に関する基礎的研究 : 単結晶Siウェハの表面加工に及ぼす投射固体粒子径の影響(機械要素,潤滑,設計,生産加工,生産システムなど)
- フェムト秒レーザを用いたナノスケール周期構造の形成
- 特集：セラミックスのトライボロジー セラミックス硬質薄膜の特性評価