MAKITA Teruo | Department of Agricultural Chemistry, Shizuoka University|Institute of Pulp and Paper Industry, Shizuoka Prefecture
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概要
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論文 | ランダム
- ニューラルネットワークによる積層型静電アクチュエータの特性評価
- F08-(4) 静電アクチュエータ(ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ,先端技術フォーラム)
- MEMSの信頼性
- 523 櫛歯電極型静電アクチュエータを用いた大変位XYステージ(ロボティクス,2.学術講演)
- 薄膜ミラーの変形を利用した光スイッチの原理と試作(J21-2 静電アクチュエータ・MEMS技術応用,J21 マイクロメカトロニクス)