浜口 宗久 | (株)大阪真空機器製作所
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概要
(株)大阪真空機器製作所 | 論文
- 傾斜型対向ターゲット(V型カソード)による高速成膜へのアプローチ
- 低温・低ダメージプロセスによるインジウム-スズ酸化物(ITO)薄膜の作製
- キッカー電磁石に組込まれたフェライトのIn Situでの脱ガス処理 (小特集 第52回真空に関する連合講演会プロシーディングス(2))
- 第15回真空国際会議・第48回米国真空協会会議・第11回固体表面国際会議 (IVC-15/AVS-48/ICSS-11)
- 翼表面粗さを考慮したターボ分子ポンプの排気性能(流体工学,流体機械)