小寺 富士 | 大阪大学大学院工学研究科超高温理工学研究施設

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概要

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• 大阪大学大学院工学研究科超高温理工学研究施設の論文著者

大阪大学大学院工学研究科超高温理工学研究施設 | 論文

• イオンビームに含まれる中性粒子のための計測器の試作
• 有機ケイ素イオンビームを用いたSiCの低温結晶成長
• 低エネルギーイオンビーム堆積法におけるビームの質の検討
• フリーマン型ガスイオン源によるイオンビームの特性
• フリーマン型スパッターイオン源の開発とその製膜への応用

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