梶山 健二 | イオン工学研

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概要

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• 同名の論文著者
• イオン工学研の論文著者

イオン工学研 | 論文

• 走査近接場光学顕微鏡(SNOM)の製作と鉱物学への応用の可能性
• プラズマ励起MBE法によるSi基板への立方晶GaN, AlN, InNヘテロエピタキシャル初期成長過程(AlN結晶成長シンポジウム)
• TiAlの酸化特性に及ぼす窒素イオン注入の影響
• 金属パルスイオン注入によるTiAlの高温耐酸化性向上
• 水素イオン注入によるSi及びSiC薄膜のデラミネーション

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