福本 直之 | 兵庫県立大院工

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概要

• 同名の論文著者
• 兵庫県立大院工の論文著者

兵庫県立大院工 | 論文

• 24aB11P 2段式誘導結合型高周波プラズマの外部磁場印加特性(プラズマ応用、慣性核融合, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
• RF・高電圧パルス重畳PBIID法における二次電子発生とプラズマ発光
• RF・高電圧パルス重畳PBIID法における立体形状表面近傍のプラズマ発光
• プラズマイオン注入・成膜法を用いて作製したSiC_x膜の特性評価
• プラズマイオン注入を用いて作製したDLC膜の密着強度評価

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