降屋 久 | 三菱マテリアルシリコン(株)

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概要

• 同名の論文著者
• 三菱マテリアルシリコン(株)の論文著者

三菱マテリアルシリコン(株) | 論文

• TXRFの現状と将来展望
• CMPによるシリコンウェハの平坦化に関する研究(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
• フローティングヘッドを用いたCMPにおけるウエハエッジ部の研磨プロファイルに関する研究
• フローティングヘッドを用いたCMPにおけるウェーハエッジ部の研磨ばらつき
• CMPにおけるシリコンウェハ接触面の圧力分布について

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