近崎 充夫 | 日立・日立研

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• 近崎 充夫

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• 野村 昌治

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• 若木 政利

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著作論文

• 30a-A-1 EXAFSによるa-SiGe膜の構造解析
• プラズマCVD法によるa-Si:H系薄膜の形成と特性 (プラズマ表面プロセス)
• イオン注入したAlNセラミックスの摺動摩耗特性
• ダイナミックミキシング法により形成したTiN膜の構造と摩耗
• 1p-FC-1 EXAFSによる非晶質Geの構造の解析(1p FC 半導体(アモルファス))

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