松沢 秀典 | 山梨大学・工、電子情報工学科

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概要

• 同名の論文著者
• 山梨大学・工、電子情報工学科の論文著者

山梨大学・工、電子情報工学科 | 論文

• ECRイオン源のイオンエネルギー制御
• 28a-YX-13 パルスECR励起マグネトロン・スパッタリングにおけるプラズマ電位制御
• 3p-W-2 ECRイオン源のバイアス技術_マグネトロンスパッタリングの周期的ビームによる変調

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