人母 岳 | 立山マシン株式会社

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概要

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立山マシン株式会社 | 論文

• プラズマ発生用高効率インバータ式12相交流電源の研究開発
• 29aA19P インバータ式多相交流電源を用いたプラズマ生成とその応用(プラズマ応用)
• 産業用プラズマ発生のための高効率インバータ式多相交流電源
• 電子サイクロトロン共鳴イオン源を用いたC_とC_イオンの生成
• 低周波バイアスを用いたニオブ酸リチウムの深掘りエッチング

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