大矢 清司 | 日立パワーソリューションズ

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概要

• 同名の論文著者
• 日立パワーソリューションズの論文著者

論文 | ランダム

• 31pYG-8 p 型 Si 基板及び SiGe エピ膜中の B の挙動に対する水素の効果
• 30pYG-6 水素による半導体中の転位運動促進効果とその機構
• 17pTG-7 シリコン中の白金-水素関連欠陥の構造と電子準位
• 29pYC-11 水素によるGe中の転位運動促進効果
• 29pYC-10 水素によるSi中Pイオン注入欠陥の回復促進効果

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