谷 和樹 | 大阪府立大学大学院 工学研究科

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概要

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• 大阪府立大学大学院 工学研究科の論文著者

大阪府立大学大学院 工学研究科 | 論文

• 希ガスを用いた容量結合型放電に対する電極材質の影響
• 新型マグネトロンプラズマによるレジストエッチング
• カスプ磁場を有する並行平板型高周波プラズマの特性
• スピン偏極二次電子のモンテカルロシミュレーション
• 熱インプリント法におけるモールドの側壁ラフネスと離型性の関係

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