稲葉 英樹 | 住友重機械工業(株)技術開発センター
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概要
住友重機械工業(株)技術開発センター | 論文
- 免震された精密生産施設のためのピエゾアクチュエータを用いた総合的アクティブ微振動制御システム(機械力学,計測,自動制御)
- 研究速報「免震精密生産施設のための圧電アクチュエータを用いた総合的アクティブ微振動制御システム -第2報、 スマート構造による外来・内生微振動制御システムー」
- 442 免震半導体工場の総合的アクティブ微振動制御 : 内生微振動と外来微振動の制御-その2
- 研究速報「免震精密生産施設のための圧電アクチュエータを用いた総合的アクティブ微振動制御システムー第1報、スマート構造による内生微振動の制御ー
- 109 免震半導体工場の総合的アクティブ微振動制御 : 内生微振動と外来微振動の制御-その1(免震構造3・計測システム,OS-12:耐震・免震・制振(1))