Hoga Hiroshi | Oki Electric Industry Co., Ltd., Semiconductor Technology Laboratory

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概要

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Oki Electric Industry Co., Ltd., Semiconductor Technology Laboratory | 論文

• Improvement in Radiation Stability of SiN X-Ray Mask Membranes
• Optically High Transparent SiN Mask Membrane with Low Stress Deposited by Low Pressure Chemical Vapor Deposition

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