広瀬 全孝 | 広島大学集積化システム研究センター

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概要

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• 広島大学集積化システム研究センターの論文著者

広島大学集積化システム研究センター | 論文

• UV/光電子法を用いた減圧下での微粒子除去
• 光配線を用いたパターン認識システム基本回路の設計と試作
• セルフリミット機構を有するシリコン窒化膜の原子層デポジション
• 中エネルギーイオン散乱法(MEIS)によるヒ素イオン注入極浅接合の評価
• 光インタコネクションを有する3次元メモリ LSI

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