出曇 正雄 | 伊丹製作所

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概要

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• 同名の論文著者
• 伊丹製作所の論文著者

伊丹製作所 | 論文

• エレクトロニクス分野におけるエキシマレーザー加工の応用
• エキシマレーザの高効率転写加工光学系
• Excimer Laser加工機における光学部品の選択とその取り扱い
• 放電中にアーク状放電が含まれないKrFエキシマレーザ発振器の開発と寿命特性
• エキシマレーザー加工用転写光学系の開発

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