堀田 恭平 | 日立ビアメカニクス(株)

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概要

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日立ビアメカニクス(株) | 論文

• AFMセンサのための圧電薄膜の形成
• 圧電検出型AFMカンチレバーの開発 -薄膜の圧電定数の測定方法-
• ダイヤモンドAFMプローブの形成プロセスと評価
• 圧電センサ・アクチュエータ搭載ダイヤモンドAFMプローブの形成
• 圧電検出・駆動型ダイヤモンドAFMセンサの開発 : PZT薄膜の形成とパターニング

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