飯塚 清 | 新技術事業団吉田ナノ機構プロジェクト

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概要

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新技術事業団吉田ナノ機構プロジェクト | 論文

• AC リニアモータと転がり案内を用いたナノメータ位置決め(第2報) : 転がり案内のトライボロジー
• AC リニアモータと転がり案内を用いたナノメータ位置決め(第1報) : システムの構成と粗・微動制御

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