作道 訓之 | 金沢工業大学 高度材料科学研究開発センター

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概要

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• 金沢工業大学 高度材料科学研究開発センターの論文著者

金沢工業大学 高度材料科学研究開発センター | 論文

• 組成変調したTi-TiN多層薄膜における高強度化機構
• 組成変調したTiN-Ti多層薄膜の構造と硬さおよび内部応力
• 組成傾斜構造とAr圧がZrN/Zr/ZrO_2とZrN/ZrO_2膜の硬さ及び付着力に与える影響
• 固体炭素源を用いた反応性スパッタリング法によるTiC膜の作製
• 固体炭素源を用いた反応性スパッタリング法によるTiC膜の作製

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