西村 智朗 | 法政大学イオンビーム工学研究所

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概要

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• 法政大学イオンビーム工学研究所の論文著者

法政大学イオンビーム工学研究所 | 論文

• Nイオン注入4H-SiCの結晶性と電気特性の評価
• 電子ビーム支援蒸着によるCeO_2(110)/Si(100)のエピタキシャル成長
• チャネリングイオン照射によるエピタキシャルCeO2膜の結晶性改善
• 高エネルギ-イオン照射によるCeO2薄膜の結晶性改善
• n形4H-SiC上に形成した金属シリサイドの評価

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