益富 裕之 | 東京エレクトロン九州

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概要

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東京エレクトロン九州 | 論文

• 環状吸込流を付加した円形衝突噴流の流動および伝熱特性
• ダブレット流 (吹出しと吸込みからなる同軸噴流) の拡散制御に関する研究
• Low-k 膜のダメージの質とそれに対する修復効果の最適化
• 501 サブチャンネル間の差圧移動による二相流量再配分過程の予測
• バナジウム-リン系複合酸化物(P/V=2)触媒のブタンからの無水マレイン酸合成能

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