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東京エレクトロン九州 | 論文
- 環状吸込流を付加した円形衝突噴流の流動および伝熱特性
- ダブレット流 (吹出しと吸込みからなる同軸噴流) の拡散制御に関する研究
- 501 サブチャンネル間の差圧移動による二相流量再配分過程の予測
- Low-k 膜のダメージの質とそれに対する修復効果の最適化
- バナジウム-リン系複合酸化物(P/V=2)触媒のブタンからの無水マレイン酸合成能
- 302 温度差が大きい自然対流の数値解析(流体工学 : 混相流・流体現象)
- 104 低マッハ数近似によるウェーハベーキング装置内部流れの数値解析(流体工学I)
- ファジィ補償による異種マニピュレータ間の協調力制御
- 27aPS-59 平坦な基板上に塗布された高分子液膜の乾燥過程のモデル(27aPS 領域11,領域12合同ポスターセッション,領域11(統計力学,物性基礎論,応用数学,力学,流体物理分野))