Furuya Hisashi | CrystalTechnology Division, Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation

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CrystalTechnology Division, Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation | 論文

• Dependency of Precipitation of Interstitial Oxygen on Its Crystal Nature in Czochralski Silicon Wafer
• Dependency of Precipitation of Interstitial Oxygen on Its Crystal Nature in Czochralski Silicon Wafer

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