河内 正夫 | 日本電信電話公社茨城電気通信研究所

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概要

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• 日本電信電話公社茨城電気通信研究所の論文著者

日本電信電話公社茨城電気通信研究所 | 論文

• ラインプリンタの高速化
• 3p-Q-10 マグネトロンスパッタ法により作製した高TeNb_3Ge薄膜
• Siウエハの反応性スパッタエッチング速度とエッチ表面組成
• 異種硬ぜい材料の同時ラッピング ・ ポリシングにおける加工量差 : 遊離砥粒による平行平面加工
• LiTaO_3単結晶のラッピング特性 : 光応用素子結晶の精密加工 (第1報)

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