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安島 直紀 | 茨城大学工学部マテリアル工学科
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茨城大学工学部マテリアル工学科 | 論文
Cu超微細配線構造の安定性に及ぼす結晶方位の影響
アルミニウム薄膜における粒成長のフェーズフィールドシミュレーション
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超微細Cu配線の微細構造と抵抗率に及ぼす硫酸銅純度の影響
超高速LSI用低抵抗率Cu配線材料の研究 (特集 材料プロセスにおける分離操作と高純度精製)
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