原田 真 | 住友重機械ファインテック(株)

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概要

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住友重機械ファインテック(株) | 論文

• セミクローズド方式クーラント浄化装置の開発
• クーラント汚染度とワーク表面品位との相関研究 : 第1報 : スラッジおよび砥粒のスクラッチ形成に及ぼす影響
• 213 研削クーラントの汚染度とワーク表面品位との相関研究(OS-11 研削・砥粒加工)
• 超精密研削用三角柱型五面体構造の提案ならびに装置開発
• φ400ウェーハの超精密両頭研削技術の研究 : 第2報 装置性能の検証(剛性・運動精度)

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