山部 昌 | 金沢工業大学ものづくり研究所

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概要

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• 同名の論文著者
• 金沢工業大学ものづくり研究所の論文著者

金沢工業大学ものづくり研究所 | 論文

• ノボラック系ポジ型レジスト中の感光剤量の相違による現像特性
• 炭酸エチレンを用いたイオン注入レジストの除去
• ハーフトーンマスク用二層レジスト技術の開発
• 炭酸エチレンを用いたイオン注入レジストの除去(半導体材料・デバイス)
• ノボラック系ポジ型レジスト中の感光剤量の相違による現像特性(半導体材料・デバイス)

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