小野塚 新 | 日本鉱業株式会社電子材料部品研究所

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概要

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• 同名の論文著者
• 日本鉱業株式会社電子材料部品研究所の論文著者

日本鉱業株式会社電子材料部品研究所 | 論文

• InP単結晶育成と応用素子(機能素子・部品と単結晶育成)
• 中規模CVD装置によるHfC-(Hf・Ti) C-TiC三層膜の生成, 摩耗モード
• 減圧CVD法による超硬チップ上へのHfC-(Hf・Ti) C-TiCトリプルコーティング膜の生成及び耐摩耗性

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