花井 俊介 | 甲南大学大学院自然科学研究科
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概要
甲南大学大学院自然科学研究科 | 論文
- 光化学還元法によるガラス基板上への銅のダイレクトパターニング
- バリアメタル上へのエチレンジアミン錯体浴による直接銅電析
- ベンゾトリアゾール誘導体のマイクロコンタクトプリンティングを利用するULSI銅微細配線の形成
- ポリエチレングリコール誘導体の予備吸着を利用する銅電析プロセスによるULSI微細配線の形成
- システムオンパネルを目的とした光化学還元法による銅のダイレクトパターニング (MEMS 2006 第16回マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集)