遠藤 和広 | (株)目立製作所機械研究所

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概要

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• (株)目立製作所機械研究所の論文著者

(株)目立製作所機械研究所 | 論文

• 分子線サンプリング法による化学蒸着反応機構の解析
• 分子線サンプリング法を用いた化学蒸着反応機構解析装置の開発(第二報)
• 粗引真空過程における油の逆流防止について(第2報)
• 直接シミュレーションモンテカルロ法による半導体成膜形状シミュレーション
• 分子線サンプリング法を用いたCVD反応機構解析装置の開発

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