宮野 靖 | 金沢工業大学・高度材料科学研究開発センター

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概要

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• 金沢工業大学・高度材料科学研究開発センターの論文著者

金沢工業大学・高度材料科学研究開発センター | 論文

• 「つくる、評価する、考える」を実践するものづくり教育 -スパッタリング法による半導体薄膜作製・評価実験-
• 多層構造薄膜のナノインデンテーション法による評価 (特集/ニューガラス)
• プラズマ重合分子認識膜を有するQCMガスセンサ
• スパッタリング成膜における薄膜構造制御
• ポリイミド・ターゲットのスパッタリングによる薄膜作製

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