小峰 政道 | 助川電気工業

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概要

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助川電気工業 | 論文

• ESDイオン誤差を除去したX線限界10^Paのイオン分光ゲージ
• アルミニウム・ステンレス複合システムによる10^Pa極高真空の発生
• 新しいX線光電子エミッション打ち消し法とXHVゲージへの応用
• ポイントコレクターゲージによる10-11Pa領域での圧力測定の誤差の評価

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