Nakajima Kaoru | Department of Engineering Physics and Mechanics, Kyoto University, Yoshida-honmachi, Sakyo, Kyoto 606-8501, Japan
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概要
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- Department of Engineering Physics and Mechanics, Kyoto University, Yoshida-honmachi, Sakyo, Kyoto 606-8501, Japanの論文著者
論文 | ランダム
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- 対向ターゲット型スパッタシステムを用いたGeSbTe薄膜に関する研究(第1報) : 装置の提案ならびに構成と基本特性