田口 暁子 | (株) 石塚研究所

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概要

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(株) 石塚研究所 | 論文

• マイクロ波プラズマCVD法によるダイヤモンド種結晶の成長
• CO-H2系反応ガスによるダイヤモンドの合成および添加ガス (O2, CO2) の影響について
• マイクロ波プラズマCVD法によるダイヤモンド合成における基板材質の影響
• 気相合成ダイヤモンドのカソードルミネッセンスによる評価
• マイクロ波プラズマCVD法によるダイヤモンド合成における反応ガスの影響

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