細川 直吉 | 日電アネルバ (株)

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概要

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• 日電アネルバ (株)の論文著者

日電アネルバ (株) | 論文

• 冷陰極放電誘起発光分光法による分子線の検出
• EIES蒸発速度モニターを用いたMBE成長
• アブストラクト
• 4元同時蒸着用電子ビーム蒸発源 (テトラガン) の開発
• スピニングローター真空計による電離真空計の感度校正

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