Kawai Hiroyuki | Toyota Motor Corporation, Susono, Shizuoka 410-1193, Japan

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概要

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Toyota Motor Corporation, Susono, Shizuoka 410-1193, Japan | 論文

• Cu
• Molten KOH etching with Na2O2 additive for dislocation revelation in 4H-SiC epilayers and substrates

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