山川 洋幸 | 日本真空技術株式会社技術開発部

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概要

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• 同名の論文著者
• 日本真空技術株式会社技術開発部の論文著者

日本真空技術株式会社技術開発部 | 論文

• 蓄冷器分離型GM冷凍機を用いたベーカブルクライオポンプの開発
• 鏡面 Si ウエハー対応真空中ダストモニターの開発
• 冷凍機分離型ベーカブル・クライオポンプの水素排気特性の測定
• 小型冷凍機付きベ-カブル型クライオポンプによる極高真空の発生 (極高真空シンポジュ-ムプロシ-ディングス)
• 小型冷凍機付きベーカブル型クライオポンプによる極高真空の発生

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