Soma Hiroyuki | Department of Materials Science, Shizuoka University, Japan
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概要
論文 | ランダム
- 30p-D-12 SiO_2/Si_3N_4選択エッチングプロセスにおけるSi_3N_4表面反応のその場観察(II)
- 30p-D-8 ECRプラズマを用いた極薄窒化シリコン膜形成プロセスにおける荷電粒子の影響
- 30p-D-5 ダイヤモンド合成プラズマプロセス中のカーボン原子の振る舞い
- 30p-D-3 環境調和型プロセスを用いたPTFE状低誘電率a-C:F膜(ε=2.0)の形成
- 28a-D-8 IRLASおよびLIFを用いたECRプラズマ中でのCFx(x=1〜3)ラジカル絶対密度径方向分布計測