大津 新喜 | 日立工機(株)勝田研究所

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概要

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• 日立工機(株)勝田研究所の論文著者

日立工機(株)勝田研究所 | 論文

• 半導体プロセスにおける流れや熱の問題
• 新形ホットウォールタイプ枚葉拡散装置による半導体ウエハの熱処理実験
• 縦形半導体拡散装置におけるウエハ温度分布の解析
• 半導体拡散プロセスにおける挿入時の積層ウエハの温度分布
• 酸化膜,窒化膜付シリコンウエハの950℃における放射熱物性

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