小宮 宗治 | 日本真空技術(株)技術開発部

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概要

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• 日本真空技術(株)技術開発部の論文著者

日本真空技術(株)技術開発部 | 論文

• 低圧, 高密度NLDプラズマと有機Low-kエッチングプロセス
• 4. 磁気中性線放電 (NLD) プラズマ : プロセス用の新しい高密度プラズマの生成と診断 IV
• 磁気中性線放電プラズマによるSiO2膜の高速エッチング
• エネルギーフィルター付き四極子形質量分析計の評価
• 直流測定型広帯域電離真空計の諸特性

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