高木 威 | 日本酸素株式会社つくば研究所

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概要

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• 日本酸素株式会社つくば研究所の論文著者

日本酸素株式会社つくば研究所 | 論文

• 有機金属化学気相成長装置内の表面吸着水の高速除去
• 半導体レーザによる塩化水素中微量水分の測定
• 半導体レーザ分光によるステンレス上吸着水とトリクロロシランの不均一系反応の研究
• MOCVD 原料としての高純度[Sr(dpm)_2]の合成
• MOCVD 法による LiNbO_3 薄膜の合成

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