安部 靖彦 | 信越半導体

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概要

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• 信越半導体の論文著者

信越半導体 | 論文

• 高純度単一同位体Siのエピタキシャル成長と自己拡散への応用
• 29pYE-3 CZ シリコン結晶成長における成長速度の限界と界面形状
• 29pYE-3 CZ シリコン結晶成長における成長速度の限界と界面形状
• 30a-ZG-12 高速重イオンの固体内荷電とスクリーニング(放射線物理)
• 25p-L-11 高速重イオンの固体内荷電の決定

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