関根 優志 | 山梨大学 大学院医学工学総合教育部
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概要
山梨大学 大学院医学工学総合教育部 | 論文
- バイノーラル補正における音場に関する拘束条件の解除
- 3次元集積回路電極用Siマイクロ孔内側壁に超臨界流体を利用してCuを堆積した際の被覆特性の検討
- 超臨界流体を用いたCu薄膜の作製と半導体素子の配線・実装応用
- 21114 Siナノホールの作製と超臨界CO_2によるCu埋め込み(配線技術,OS.3 機械工学が支援する微細加工技術(半導体,MEMS,NEMS))
- 超臨界流体を用いたCu薄膜堆積 : 成膜特性検討と貫通電極プロセスへの適用の試み