小出 真 | 千葉県 公立葛南病院外科

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概要

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論文 | ランダム

• 半導体ランプ熱処理装置におけるウエハ均一加熱制御方法の検討
• ランプ熱処理装置におけるウエハ温度分布に及ぼすガス対流の影響の解析 : 熱工学,内燃機関,動力など
• 企業の視点から
• (8)半導体基板表面のミクロ溝における銅スパッタ膜リフロー現象の流動形状変化に及ぼす形状パラメータの影響の解析的検討
• 要素数低減による放射伝熱計算の高速化と誤差の検討およびランプ加熱装置への適用

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